不应被忽视的明星——特种气体-云顶国际亚洲唯一官网

云顶国际亚洲唯一官网-4008云顶国际网站随着电子工业特别是集成电路技术的发展，特种气体的研发和工业生产得到了发展。特种气体是工业气体中的一个新类别。它是近年来适应国防工业、科研、自动化技术和精密检测的世界工业发达国家。特别是微电子技术的发展需要出现在历史时刻。特殊气体主要包括高纯度气体、电子气体、标准气体和新发展的校正气体和零点气体。

目前，特种气体的应用领域和需求正在逐渐扩大。品种日益增多。据不完全统计，现有单位有260种特种气体。根据气体的混合性，可制备2.5万多种混合物，成为高科技等科研技术应用领域不可或缺的基本原料。

近年来，特种气体的研究和应用在我国从零开始，特种气体在国民经济中的应用越来越广泛，新气体的研发自上而下受到广泛关注，一些常见的特种气体基本上摆脱了简单依赖进口的被动局面，不仅节省了大量的外汇，而且为我国自身电子产业的发展做出了巨大的贡献。然而，我国特种气体的研究和应用仍远远落后于发达国家。相当多的特种气体需要进口。仅1987年进口的电子气就花费了308万元。因此，很有必要在我国形成一个特种气体及其配套器件研究开发、生产、供应一条龙的新格局，所谓“第三次浪翻”是以高科技的迅猛发展为龙头的。如果没有强有力的特种气体产业支持，我国电子产业本土化进程将十分困难，最终将拖累四大现代化建设。因此，全面发展和建立中国特种气体产业，彻底改变依赖进口的被动局面具有重要的战略意义。

六五、七五期间，全国有9家研究单位和厂家致力于特种气体的开发应用。在35种最常用的特殊气体中，我国可提供高纯氢、氮、氧、硅烷、磷烷、二氯氢硅、高纯氨、高纯氯化氢等近30种气体，主要用于晶体生长、热氧化、外延、扩散等13个重要过程。在使用过程中，特种气体的纯度直接影响到集成电路块的质量和成品率，因此，作为电子工业最基本的原材料，特种气体应受到相当程度的重视。标准气的应用主要有两类。一是石油、化工、冶金等行业的标准气体。中国有辽阳化纤、大庆石化、燕山石化、首钢、宝钢等30多家大型企业，每年需要60多种标准气体，近2万瓶，而中国只能提供20多种常用气体，远远不能满足国内市场的需求，相当一部分依赖进口；二是环境监测标准气体，主要用于空气污染和汽车尾气监测。目前，只有中国计量科学院的标准物质才能提供少量的标准混合物，如co/n2.ch4/n2.so2/n2，其中大部分需要进口。在我国特种气体行业中，标准气的开发和应用是一个弱点，需要大量的努力来弥补。

以上简要介绍了我国特种气体研发的概况，从我国电子工业等科研发展来看，特种气体的应用前景非常广阔。仅就电子工业而言，近五年来，特种气体量翻了一番，使用的品种也翻了近一倍。据有关部门提供的资料表明，进入80年代后，电子气、光纤气、标准气等的用量将进一步成倍增长，使用的品种也将进一步扩大，这就为特种气体的发展提供了一个良好的契机。在大力发展电子工业和光纤通信的同时，要同时加强特种气体的研发，努力缩小与发达国家的差距。特种气体的本地化是我国电子产业本地化的重要。这一步直接关系到我国电子产业等高新技术部门的发展。

然而，我国特种气体的发展似乎并不令人满意。由于特种气体一般易燃、易爆、毒性大、腐蚀性强，研究工作难度大，我国特种气体发展相对缓慢。从目前的情况来看，主要存在两个问题：

1.易开发的气体品种出现重复开发现象，一些毒性大、腐蚀性强、急需的气体，如硼烷、砷烷、二氯氢硅、六氢化钨、三氢化氮等，在没有得到应有重视的情况下，相对分散了人力和财力，造成了一些不必要的浪费。要注重宏观管理中各方关系的协调，从长远利益出发，协调重点项目，重视利用。

2.配套设备的研发远远落后于特种气体的研究进展，影响了阀门、减压器、气瓶等高纯气体的使用纯度。目前，国内半导体厂使用的大部分阀门和减压器必须从美国和日本进口，而瓶柜和吹洗系统都依赖进口，这特别值得足够关注。若配套设备问题无法解决，特种气体的研发应用将受到极大影响。