高纯氩是指纯度达到99.99%以上的氩气。它具有高纯度、低水分、低氧气、低氮气等特点,广泛应用于电子、光电、航天、医疗、化学等领域。为了确保高纯氩的质量和纯度,需要严格控制生产工艺和采取有效的检测方法进行检验。
高纯氩的纯度要求主要包括氮气、氧气、水分和杂质的含量。其中,氮气、氧气和水分是主要的杂质,对纯氩的品质有着重要影响。一般而言,高纯氩的氮气含量应小于10ppm,氧气含量应小于2ppm,水分含量应小于5ppm。此外,还需要检测杂质元素的含量,如金属杂质(钠、铁、铜、铝等)、非金属杂质(氮、氧、碳、氯等)等,其含量也应控制在很低的范围内。
现今常用的高纯氩的检测方法主要有:气相色谱法、热导法、电化学法、质谱法、原子吸收法、冷阱法等。下面将对这些方法进行介绍。
气相色谱法是一种常用的高纯氩的组分分析方法。该方法通过气相色谱仪进行分析,能够准确测定氮气、氧气、水分和其他杂质的含量。在气相色谱法中,气体样品会经过一系列的柱、检测器和采集器,根据不同组分的滞留时间来进行定性和定量分析。通过该方法可以快速、准确地测定高纯氩的各项成分。
热导法是一种通过测量气体热导率来检测纯氩含量的方法。该方法通过热导率检测仪测量气体在一定温度条件下的热导率,从而计算出纯氩的含量。热导法具有快速、准确、易操作的特点,广泛应用于高纯氩的检测中。
电化学法是一种利用电化学传感器进行纯氩检测的方法。该方法利用电化学传感器的特性,通过测量传感器和标准气体之间的电荷转移和电流变化,来测定气体中纯氩的含量。电化学法操作简单、检测速度快,适用于现场检测和在线监测。
质谱法是一种利用质谱仪进行高纯氩的检测的方法。该方法通过将氩气样品进样到质谱仪中,通过质谱仪中的离子源和质量分析器,对氩气中的各个组分进行分离和测量。质谱法准确性高,能够检测到非常低的杂质含量,是高纯氩检测中常用的方法之一。
原子吸收法是一种利用原子吸收光谱仪进行高纯氩检测的方法。该方法通过在一定温度和气氛条件下,利用气动膨胀原理将氩气进样到原子吸收光谱仪中,通过测量原子的吸收光谱,来测定氩气中的杂质含量。原子吸收法准确性高,操作简单,适用于高纯氩的含量分析。
冷阱法是一种通过将气体经过冷凝器和陷阱来检测纯氩含量的方法。该方法利用不同气体的凝结点不同的特性,在一定温度和压力条件下,通过将气体通过冷凝器和陷阱进行处理,将冷凝出的纯氩进行测定。冷阱法准确度高,还可以用于分离和富集纯氩。
综上所述,高纯氩的纯度要求主要包括氮气、氧气、水分和其他杂质的含量。常用的高纯氩的检测方法包括气相色谱法、热导法、电化学法、质谱法、原子吸收法和冷阱法等。不同的方法有其适用的场合和优势,可以根据实际需要选择合适的方法进行高纯氩的检测。